Cảm biến phát hiện rung động nhỏ trong thiết bị điện tử và y tế.

Cảm biến sử dụng nguyên lý giao thoa ánh sáng để phát hiện dao động từ 1–10 µm. Ứng dụng trong kiểm tra sai lệch vi cấu trúc và giám sát rung động vi mô trong thiết bị bán dẫn.